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數學為什么重要?用公式為您解釋掃描電鏡低電壓觀察不導電樣品的優(yōu)勢

 發(fā)布時間:2020/6/23 點擊量:1734
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什么是荷電效應?

 

掃描電子顯微鏡主要用于樣品表面微觀形貌觀察,但在觀察樣品過程中經常由于荷電效應使得圖像異常變亮、畸變,甚至出現圖像模糊的情況,嚴重影響成像質量。

 

圖1固體絕緣材料的電子發(fā)射特性曲線。橫坐標為入射電子能量,縱坐標為試樣的電子產率。荷電現象可以用基爾霍夫電流定律表示,即在任一瞬時流向某一結點的電流之和等于由節(jié)點流出的電流之和??捎靡韵鹿奖磉_:

 

 

其中 Ip 是入射電子的電流,δIb 是背散射電子和二次電子的電流之和,Isc 是樣品接地電流,Q 為時間 t 內的放電電荷。

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