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Technoorg Linda 新品發(fā)布!精密制樣技術(shù)新高度

 更新時間:2024-06-20 點(diǎn)擊量:1010

Technoorg Linda 新品發(fā)布!精密制樣技術(shù)新高度

在當(dāng)今高科技行業(yè)中,精密離子研磨技術(shù)的進(jìn)步對材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造和納米技術(shù)的發(fā)展至關(guān)重要。

作為行業(yè)引領(lǐng)者,Technoorg Linda 再次突破創(chuàng)新,在匈牙利首都布達(dá)佩斯剛剛結(jié)束的全球會議中正式發(fā)布了其最新產(chǎn)品 —— 離子研磨儀 SEMPREP SMART 與離子精修系統(tǒng) Gentle Ion Beam(GIB),為全球用戶帶來更加高效、精確的解決方案。

 

復(fù)納科學(xué)儀器(上海)有限公司作為 Technoorg Linda 在中國的d家合作伙伴,我們?yōu)榭蛻籼峁┊a(chǎn)品培訓(xùn)、技術(shù)支持和售后服務(wù)。

Technoorg Linda 新品發(fā)布!精密制樣技術(shù)新高度

當(dāng)前在國內(nèi)市場,Technoorg Linda 專注于引進(jìn)并推廣 SEM / TEM / FIB 樣品制備系列設(shè)備。本次發(fā)布的新產(chǎn)品 SEMPREP SMART 離子研磨儀主要用于掃描電鏡(SEM)樣品制備,Gentle Ion Beam(GIB)精修離子束系統(tǒng)主要用于雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進(jìn)行 FIB 樣品制備后,對 TEM 樣品進(jìn)行zui終拋光和溫和的表面清潔。

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新產(chǎn)品 01

SEMPREP SMART 離子研磨儀 

SEMPREP SMART 配備了高能量和可選的低能量氬離子槍。用于掃描電子顯微鏡(SEM)和電子背散射衍射(EBSD)樣品的最終加工和清潔。離子加工可以改進(jìn)和清潔機(jī)械拋光的 SEM 樣品,并為 EBSD 分析制備無損表面。該設(shè)備還適用于快速截面加工。為您制備高精度和高質(zhì)量的樣品,例如在半導(dǎo)體測試或鋰離子電池隔膜的截面檢查中均能實(shí)現(xiàn)出色的效果。

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SEMPREP SMART

產(chǎn)品特點(diǎn):

1.配方庫-離線:基于我們長期的經(jīng)驗(yàn)積累

  • 先進(jìn)的離子槍設(shè)計(jì)和自動化功能

    采用超高能離子槍,最高可達(dá) 16keV,帶來更快的加工速率,更優(yōu)異的加工效果。 

  • 新型智能化操作軟件 

    Technoorg Linda 的新產(chǎn)品在設(shè)計(jì)上充分考慮了用戶的實(shí)際需求,開創(chuàng)性的將 AI 算法集成到系統(tǒng)中,使操作更加智能化,提供多種操作模式:

1.配方庫-離線:基于我們長期的經(jīng)驗(yàn)積累

2.自動配方生成 - 離線:基于簡短問卷

3.Linda AI - 在線:實(shí)時搜索最佳解決方案,訪問龐大數(shù)據(jù)庫以獲取最佳結(jié)果

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高效,全面,智能化的理解用戶需求,提供即時的反饋和解決方案

  • 高分辨率數(shù)字相機(jī)

    在處理過程中用于樣品觀察 

  • 全新的對位樣品臺

    在進(jìn)行 90° 截面樣品加工時帶來更加精確的樣品定位

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  • 可選的新型 LN2 冷卻系統(tǒng)

    為用戶帶來更加高效及精確的長時間控溫

使用氬離子束進(jìn)行加工

  • 平面加工模式

                 

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在樣品傾斜角小于 10 ° 且連續(xù)旋轉(zhuǎn)的條件下進(jìn)行加工

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Cu-7.5wt.%Al 的 EBSD 晶粒取向分布 (a) 和晶界類型 (b)

  • 90° 截面加工模式

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使用鈦或玻璃擋板進(jìn)行連續(xù)搖擺的截面加工

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TFT 板的 90° 加工,位置精度為 ±1 微米                            加工點(diǎn)后方的 TFT表面細(xì)節(jié)           

 

 

新產(chǎn)品 02

GIB 精修離子束系統(tǒng)

Technoorg Linda 的精修離子束系統(tǒng)(GIB)適用于表面減薄、其他表面處理后的后處理、清潔以及去除無定形和氧化物表面層。當(dāng)?shù)湍軞咫x子槍集成到掃描電鏡中時,其作用尤為明顯。有了集成離子槍,就可以在研究之前對樣品進(jìn)行精修。實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量樣品的另一個重要應(yīng)用是在雙束 SEM / FIB 系統(tǒng)中進(jìn)行 FIB 樣品制備后,對 TEM 樣品進(jìn)行最終拋光和溫和的表面清潔。

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GIB 精修離子束系統(tǒng)

產(chǎn)品特點(diǎn):

  • 儀器控制單元

    電子元件、閉環(huán)冷卻系統(tǒng)和氬氣壓力傳感器均位于控制單元內(nèi)。高純度(99.999%)氬氣用于供應(yīng)離子源,其流量由高精度針閥調(diào)節(jié)。控制軟件在 Windows 操作系統(tǒng)下運(yùn)行,可以單獨(dú)安裝在一臺計(jì)算機(jī)上,也可以安裝在 SEM 的計(jì)算機(jī)上

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  • 可與掃描電鏡集成

    帶波紋管的傳輸系統(tǒng)可通過連接管安裝到掃描電鏡上。連接管輸出法蘭的尺寸與相應(yīng)的 SEM 端口尺寸相匹配。通過線性傳輸系統(tǒng)提供離子源流動性,可實(shí)現(xiàn)理想的工作距離(15-30 mm)。

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  • 低能量氬離子槍

    低能量離子槍的直徑和長度均為 50mm。氬離子束的能量范圍:100keV - 2keV。2keV 時的最大束流為 70µA。離子束為寬束,F(xiàn)WHM 為 2mm。

 

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